Ovo je vrsta destilacije u okruženju visokog vakuuma, zbog razlike slobodnog puta molekularnog kretanja materijala, provedena je u materijalu osjetljivom na toplinu ili u procesu destilacije i pročišćavanja materijala s visokom tačkom ključanja. Destilacija kratkog puta se uglavnom koristi u kemijskoj, farmaceutskoj, petrohemijska, začinska, plastična, naftna i druga polja.